Научные сотрудники МНИЦ «Когерентная рентгеновская оптика для установок «Мегасайенс» БФУ им. И. Канта представили доклады на второй объединенной конференции «Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике». Форум состоялся в ноябре на базе Института проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН. Участие в мероприятии приняли более 120 исследователей из России, Азербайджана, Армении, Республики Беларусь и Китая.
Конференция состояла из десяти секций, в том числе по темам: диагностика полупроводниковых материалов и структур, электронно-лучевая и ионная литографии, рентгеновская кристаллооптика, применение рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур, новые методы исследования микро- и наноструктур с использованием синхротронных и лабораторных источников рентгеновского излучения.
Научный сотрудник МНИЦ РО Иван Лятун в докладе представил результаты теоретических расчетов предельных оптических характеристик микролинз для задач высокоразрешающей фазово-контрастной микроскопии. Ученый показал экспериментальные результаты изготовления микрооптики из рентгеноаморфных материалов (кварц и бор), а также из алмаза и кремния методом ионно-лучевой литографии. Оптические элементы были получены на двухлучевой системе FIB-SEM Zeiss CrossBeam 540, входящей в состав уникальной научной установки «Научно-образовательный многофункциональный комплекс подготовки и проведения синхротронных исследований» (УНУ «SynchrotronLike»). Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда, проект № 23-22-00422.
Лаборант-исследователь Александр Коротков представил доклад «Компактный рентгеновский трансфокатор с изменяемым положением линз», в котором предложил новаторские идеи применения компактного трансфокатора и приведено моделирование возможных оптических схем его применения. В представленной модели реализовано независимое управление положением каждой линзы. Это открывает возможность применения в методах исследования, ранее недоступных для преломляющей оптики: абсорбционной спектроскопии, где необходимо сохранять положение фокуса в фиксированном положении при изменении энергии, и реализации сканирования по объему исследуемого образца, что может найти свое применение в высокоразрешающей рентгеновской микроскопии на российских источниках синхротронного излучения нового поколения.
Младший научный сотрудник МНИЦ РО Михаил Сороковиков представил доклад, посвященному циклу работ на тему: «Рентгенооптическое устройство двумерной фокусировки на основе планарных кремниевых составных преломляющих линз». Уникальное устройство предназначено для микро- и нано-фокусировки пучка рентгеновского излучения с возможностью коррекции астигматизма оптической системы. В рамках доклада подробно описывались фокусирующие системы и функциональные возможности разработанного устройства. Сборка компонентов устройства и предварительная юстировка оптики выполнялась на многофункциональном комплексе подготовки и проведения синхротронных исследований «SynchrotronLike» — УНУ «SynchrotronLike» БФУ им. И. Канта. Двумерная фокусировка с коррекцией астигматизма успешно реализована на станции «Рентгеновская кристаллография и физическое материаловедение» Курчатовского источника синхротронного излучения второго поколения (РКФМ"КИСИ-Курчатов«) и демонстрирует огромный потенциал практического применения устройства на новых, строящихся источниках рентгеновского излучения (СКИФ и СИЛА).
Стоит отметить, что работа реализована в рамках выполнения отдельных мероприятий Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019 — 2027 годы, по теме «Разработка элементов и систем экспериментальных станций источников синхротронного излучения для комплементарных in-situ исследований динамики трансформации объектов в условиях внешних воздействий в целях разработки, создания и диагностики новых материалов» (Договор с ФНИЦ «Кристаллография и Фотоника» РАН № 8418.21.09/2478 от 02.11.2021 г.).
Личный кабинет для cтудента
Личный кабинет для cтудента
Даю согласие на обработку представленных персональных данных, с Политикой обработки персональных данных ознакомлен
Подтверждаю согласие
