Научный проект по развитию прецизионных технологий плазмохимического криогенного травления кремния для формирования структур микроэлектроники и элементов рентгеновской оптики поддержали грантом Российского научного фонда в размере 60 млн рублей на четыре года. Исследования состоятся в тесной междисциплинарной коллаборации команд: «Лаборатория микроструктурирования и субмикронных приборов» ФТИАН им. К.А. Валиева РАН (г. Москва), обладающая обширным опытом в разработке современных технологий микроэлектроники, и МНИЦ «Когерентная рентгеновская оптика для установок «Мегасайенс» БФУ им. И. Канта, являющийся признанным мировым лидером в области когерентной рентгеновской преломляющей оптики и созданию уникальных устройств на ее основе.
Проект направлен на изучении взаимодействия низкотемпературной плазмы с поверхностью кремниевых структур при криогенных температурах. Результаты исследований войдут в основу плазменных технологий анизотропного микро- и наноструктурирования кремния, необходимых при создании микроэлектроники и нового поколения высокоразрешающей преломляющей рентгеновской оптики. Оптимизированная технология позволит изготавливать кремниевые рентгенооптические элементы с минимальной шероховатостью преломляющих поверхностей, что особенно важно для фокусировки и формирования пучка синхротронного излучения с сохранением его когерентных свойств.
Применение кремниевой планарной преломляющей оптики крайне востребовано на исследовательских станциях источников синхротронного излучения. Высокоразрешающие оптические системы и применяемые методы, основанные на преломляющей оптике, позволяют выполнять передовые исследования во многих областях науки, таких как физика, материаловедение, геология, медицина и биология.
Для обсуждения планов работ по проекту Анатолий Снигирев посетил ФТИАН им. К.А. Валиева РАН, где ознакомился с технологическими возможностями и материальной базой партнера. Директор лаборатории микроструктурирования и субмикронных приборов Константин Руденко провел экскурсию и представил последние научные достижения коллектива в области микроэлектроники и процессов прецизионного плазменного химического травления.
Анатолий Снигирев, директор МНИЦ «Когерентная рентгеновская оптика для установок «Мегасайенс»: |
Кремниевая планарная оптика является одним из успешных современных направлений развития рентгеновской преломляющей оптики нанометрового разрешения. Успех ее применения связан с уникальными возможностями MEMS технологии. Здесь огромное значение имеет плотное взаимодействие с передовыми российскими лабораториями. Наше плодотворное сотрудничество с ФТИАН им. К.А. Валиева РАН насчитывает не один десяток лет. В этой связи, я бы хотел выразить искреннюю благодарность руководству и коллегам из этого института за неустанный интерес к сотрудничеству по столь важной тематике для всего направления кремниевой рентгеновской оптики. Следует подчеркнуть, что поддержанный РНФ проект является составной частью более обширной программы по развитию синхротронных и нейтронных исследований, флагманом которой является НИЦ «Курчатовский институт», с которым в данном направлении наш центр тесно взаимодействует. Это вселяет полную уверенность в успешной реализации проекта и применении результатов исследований на строящихся в Российской Федерации «Мегасайенс» установках (СКИФ, г. Новосибирск и СИЛА, г. Протвино). |
Личный кабинет для
Личный кабинет для cтудента
Даю согласие на обработку представленных персональных данных, с Политикой обработки персональных данных ознакомлен
Подтверждаю согласие