Ученые БФУ представили доклады на конференции по применению технологий рентгеновской оптики в микроэлектронике

Сотрудники МНИЦ «Когерентная рентгеновская оптика для установок класса «Мегасайенс» (МНИЦ РО) стали участниками объединенной конференции «Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике». Она проходила с 13 по 17 сентября в Черноголовке (Московская область). Конференция организована Институтом проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (ИПТМ РАН) и проводится регулярно с 1994 года. В этом году на научном форуме были освещены вопросы анализа состояния исследований и разработок в области электронно- и ионно-лучевых технологий, зондовой микроскопии, рентгеновской оптики и их применений в наноструктурировании поверхности, литографии и получении материалов для микро- и наноэлектроники.

«Я очень рада, что мне посчастливилось принять участие в этой конференции, где я смогла представить результаты, связанные с моей диссертационной работой. Моя работа вызвала большой интерес и вопросы у слушателей. Было очень много полезных докладов, как ведущих ученых, так и от молодых исследователей в различных областях рентгеновской оптики. Школа дала возможность познакомиться с большим количеством научных групп для последующего сотрудничества и коллабораций».

«Конференция была организована ИПТМ РАН, в месте, где учился и работал мой научный руководитель Анатолий Александрович Снигирев. 25 лет назад впервые в мире были предложены и изготовлены составные преломляющие линзы, что активно обсуждалось участниками конференции. Мой доклад был посвящен метрологии основных геометрических параметров кремниевых преломляющих линз для синхротронных источников. Эти исследования необходимы для усовершенствования технологии изготовления линз, чтобы «идеализировать» процесс транспорта пучка и не изменить его. Мне, как аспиранту и молодому исследователю, конференция и новые знакомства с учеными из смежных тематик, дают новые возможности для дальнейших исследований».

«Несмотря на сложную эпидемиологическую обстановку, программа мероприятия была очень насыщенной, за 4 дня было представлено около 60 докладов по материаловедению, рентгеновской оптике и микроэлектронике. Кто-то из исследователей выступал онлайн, однако, подавляющее большинство присутствовало лично. Это дало возможность пообщаться и узнать много полезной информации. Я выступал с докладом, где были представлены результаты моей диссертационной работы. Она посвящена использованию лабораторного оборудования в синхротронных исследованиях. Благодаря этому я получил обратную связь и важные замечания, которые позволят мне улучшить мою диссертационную работу».

Поездка была организована за счет средств РНФ проекта №19-72-30009.