11 декабря на территории НТП «Фабрика» состоялся научно-образовательный семинар, посвященный обсуждению перспективных направлений развития рентгеновской литографии. Семинар был организован МНИЦ «Когерентная рентгеновская оптика для установок Мегасайенс» (МНИЦ РО) БФУ им. И. Канта совместно с Национальным исследовательским университетом «Московский институт электронной техники» (НИУ МИЭТ) в рамках Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры.
Рентгеновская литография рассматривается как одна из перспективных технологий для преодоления ограничений традиционной фотолитографии, открывающей новые возможности в развитии нанотехнологий и современной полупроводниковой промышленности. Это высокоточный метод формирования микроскопических структур на поверхности материалов с использованием рентгеновского излучения. Основой технологии является короткая длина волны рентгеновских лучей, что позволяет создавать элементы интегральных схем и других компонентов микроэлектроники с разрешением до нескольких нанометров.
С ключевым докладом на тему «Перспективы развития рентгеновской литографии в Российской Федерации» выступил директор ЦКП «Микросистемная техника и электронная компонентная база» НИУ «МИЭТ» Николай Дюжев. В своем докладе эксперт представил основные принципы рентгеновской литографии, подробно осветил текущее состояние технологии на мировом рынке и предложил перспективные подходы для повышения качества и эффективности производства микроэлектронных устройств. Особое внимание было уделено достижениям НИУ «МИЭТ» в развитии безмасочной рентгеновской литографии, направленной на укрепление позиций России в этой инновационной области.
| Безмасочная фотолитография — перспективная альтернатива традиционным технологиям с использованием фотошаблонов. Она исключает необходимость создания дорогостоящих масок, что значительно упрощает внесение изменений в производственный процесс и позволяет достичь критических размеров элементов менее 10 нм. Для обеспечения высокой точности в этой технологии ключевую роль играет специализированная оптика. В сотрудничестве с МНИЦ РО БФУ им. Канта нам удалось разработать эффективное решение на основе преломляющей рентгеновской оптики. По сравнению с зеркальной она отличается простотой настройки и минимальными потерями мощности излучения, |
| отметил Николай Дюжев. |
Руководитель МНИЦ РО Анатолий Снигирев представил перспективные разработки лаборатории в области рентгеновской оптики. Исследования охватывают такие ключевые направления, как проектирование высокоточных оптических систем для современных когерентных методов рентгеновской визуализации, инженерные и технологические решения, фундаментальные исследования в области материаловедения, а также совершенствование оптических методов формирования рентгеновского пучка. Такой комплексный подход, включающий разработку новых материалов и технологий, позволяет создавать инновационные решения, отвечающие самым высоким требованиям точности и эффективности, необходимые для рентгеновской литографии.
| Деятельность нашей группы с самого своего основания нацелена на собственные уникальные разработки рентгеновской оптики. Ключевым аспектом нашей работы является формирование понимания базовых принципов когерентной рентгеновской физики для создания эффективных методов и инструментов, которые мы представляем российскому синхротронному сообществу. Сегодня мы активно исследуем возможности применения преломляющей оптики в мягком рентгене. Это отражает универсальность и востребованность наших разработок в решении задач рентгеновской литографии. Уверен, что наш опыт в создании новых видов преломляющей и дифракционной оптики и устройств на их основе, способен внести значительный вклад в развитие высокотехнологичных направлений в производстве сложных микроэлектронных устройств и укрепить позиции российских разработок в области рентгеновской литографии, |
| сообщил Анатолий Снигирев. |
Семинар вызвал оживленную дискуссию среди участников, в рамках которой активно обсуждались пути внедрения новых технологий и вопросы интеграции разработок в промышленные процессы. Участники отметили важность укрепления межвузовского и междисциплинарного взаимодействия для ускорения прогресса в области микроэлектроники и рентгеновской литографии.
Мероприятие стало важной площадкой для обмена опытом, демонстрации достижений и поиска новых возможностей для сотрудничества между ведущими научными центрами России.
Личный кабинет для cтудента
Личный кабинет для cтудента
Даю согласие на обработку представленных персональных данных, с Политикой обработки персональных данных ознакомлен
Подтверждаю согласие